對應第8代玻璃基闆的FPD曝光設備「FX-88S」發售

株式會社尼康（社長：Toshikazu Umatate，東京都港區）推出了支持各種高清晰度的面闆的生産，對應第8代玻璃基闆的FPD曝光設備「FX-88S」。 「FX-88S」除了有高分辨率和高精度對準外，還具有高生産性。廣泛适用于高附加值的高端顯示器的面闆生産，如智能設備、高端顯示器和大型電視，以滿足客戶的不同需求。

發售概況

商品名	FPD曝光設備 「FX-88S」
發售時間	2022年4月上旬

開發背景

随着可折疊智能手機出現和高清顯示器的需求增長，用于智能設備和高端顯示器的中小型面闆對更大屏幕和更高分辨率的需求變得愈加強烈。此外，用于電視顯示屏等的大屏的分辨率也有更高的需求。為了滿足這些需求，尼康應用并優化了适合生産高清中小型面闆的FX-68SH/68S FPD曝光系統（2016年推出）和适合生産大型電視面闆FX-103SH/103S FPD曝光系統（2017年推出）開發的技術。推出滿足多種高清晰度面闆生産的FPD曝光設備 「FX-88S」。

主要特長

1. 實現了1.5微米級的高分辨率

通過搭載在 FX-68SH/68S 機型上已實現量産實績的高解像度i 線投影鏡頭。實現了第8代玻璃基闆的1.5 µm（L/S）高分辨率曝光。同時采用與“FX-68SH/68S”相同的高精度對焦補正系統，實現了在整個第8 代玻璃基闆面闆上優秀的線寬均一性。

※L/S：Line and Space的簡稱

2. 高重合精度的實現

通過使用在FX-103SH/103S中用于10.5代玻璃基闆的大型平台控制技術和FX-68SH/68S的高分辨率投影鏡頭的配置，FX-88S實現了高精度的對位。此外，尼康獨特的多鏡頭技術能對基闆的表面進行局部補正，使其能夠對應大型面闆的各種變形形狀，助力于實現高良率的量産。

3. 高生産性

多鏡頭系統能夠以高分辨率對大面積區域進行批量曝光。僅通過4 次掃描，就可以對第 8 代玻璃基闆進行整個面進行曝光。與原有的FX-86SH2機型相比，平台的驅動速度提高了 30%，生産節拍時間大幅度提升。 最大可以選擇搭載四個光源，助力于在需要高照度的曝光工序中也實現高生産性。

4. 可靈活地應對各種面闆的量産

高分辨率和高精确度的大面積曝光，是智能設備、高端顯示器和大型電視等高附加值高端屏幕量産的最佳選。FX-88S緻力于滿足客戶的各種需求。

主要性能

Resolution (L/S)	分辨率（可切換）	1.5 μm　（i-line）
Projection magnification	投影倍率	1:1
Overlay	重合精度	≦±0.40 μm
Plate size	尺寸	2,200 mmｘ2,500 mm
Takt time	節拍	47秒/plate 條件：2,200 mmｘ2,500 mm，4 scans、i-line、30 mJ/cm2