高分辨率與高效率同步，實現環保新突破
業内首款采用UV-LED光源的FPD曝光設備“FX-88SL”、“FX-88SLD”開始接受訂單

FPD曝光設備「FX-88SL/SLD」

尼康株式會社宣布，将于2025年11月開始接受全新FPD（平闆顯示器）曝光設備“FX-88SL”和“FX-88SLD” ^※1的訂單。這兩款設備是業内首批采用UV-LED（紫外線LED）光源^※2的産品，适用于第8代（2,290mm × 2,620mm）玻璃基闆，兼具高分辨率、高生産效率和低環境負荷等優勢。

發售信息

商品名	FPD曝光設備「FX-88SL」、FPD曝光「FX-88SLD」
接受訂單時間	2025年11月
上市時間	2026年4月

開發背景

随着智能設備和大型高端顯示器等高精細面闆需求的持續增長，面闆制造行業對高生産效率與低能耗的需求日益迫切。針對這一趨勢，尼康率先開發出采用UV-LED光源的FPD曝光設備。UV-LED光源不僅具備高照度，能夠提升生産效率，還實現了節能降耗和運行成本的有效降低。此外，該光源不含汞元素，進一步減少了對環境的影響。尼康将持續緻力于降低環境負荷，積極助力可持續社會的實現，并不斷促進自身的持續發展。

FPD曝光設備“FX-88SL”“FX-88SLD”所對應的市場

主要特點

1.兼顧高分辨率與高生産效率

憑借高精度對焦補正系統，實現整塊基闆上的優異線寬均一性，并可通過4次掃描高效完成第8代大尺寸基闆的全面曝光。配備相當于i線光源UV-LED“FX-88SL”分辨率高達1.5μm^※3 L/S^※4，單片基闆的加工時間較上一代“FX-88S”縮短17%，實現了每片39秒^※5的高效生産。此外，搭載UV-LED雙波長^※6光源的“FX-88SLD”則進一步提升了對高照度要求工藝的生産效率。

※3 1μm（微米）等于百萬分之一米（千分之一毫米）
※4 L/S為Line and Space的縮寫，指布線寬度及其相鄰間距
※5 以2,290mm × 2,620mm基闆、4次掃描、i線、30 mJ/cm²條件下測得
※6 相當于i線和h線

2. 實現±0.3μm的高重合精度

新一代設備通過先進的對準技術，實現了±0.3μm的重合精度。采用尼康獨有的多鏡組系統^※7，對每個鏡頭進行精密控制，即便在大型玻璃基闆因變形或應力産生偏差的情況下，也能确保極高的對位精度，有效提升量産過程中的産品良率。

※7 尼康FPD曝光設備的獨有技術。通過并列并精密控制多個投影鏡頭，實現如同使用一個大型鏡頭般的曝光效果，從而能夠在一次曝光中對更大面積進行圖案化處理。

3. 采用UV-LED光源，兼顧高性能與環保

本系列産品采用了低能耗、無汞的UV-LED光源，在大幅提升曝光亮度和生産效率的同時，有效降低了運行成本。此外，尼康還建立了UV-LED光源部件的回收機制，積極踐行可持續發展理念，助力構建環保的社會。

主要性能

	FX-88SL	FX-88SLD
分辨率	1.5 µm L/S 1.8 µm C/H	2.5 µm L/S 2.5 µm C/H
光源	波長相當于i線的UV-LED	波長相當于i線和h線的UV-LED
投影倍率	1 : 1
重合精度	≦±0.30 µm
尺寸	2,290 mm ｘ 2,620 mm
節拍	39s / plate （條件）2,290 mm × 2,620 mm、4次掃描、i-line、30 mJ/cm2	39s / plate （條件）2,290 mm × 2,620 mm、4次掃描、i-line+h-line、30 mJ/cm2